ლითოგრაფიის აპარატის ნიღაბი გასწორების ფოტო-მგზნებარე მანქანა

დაზუსტება

1. ექსპოზიციის ადგილი: 110 მმ × 110 მმ
2. ★ ექსპოზიციის ტალღის სიგრძე: 365nm;
3. რეზოლუცია: ≤ 1 მ;
4. გასწორების სიზუსტე: 0.8 მ;
5. გასწორების სისტემის სკანირების ცხრილის მოძრაობის დიაპაზონი მინიმუმ უნდა შეხვდეს: Y: 10 მმ;
6. გასწორების სისტემის მარცხენა და მარჯვენა მსუბუქი მილები შეიძლება ცალკე გადაადგილდეს x, y და z მიმართულებებში, x მიმართულება: ± 5 მმ, y მიმართულება: ± 5 მმ და z მიმართულება: ± 5 მმ;
7. ნიღბის ზომა: 2.5 დიუმი, 3 ინჩი, 4 ინჩი, 5 ინჩი;
8. ნიმუშის ზომა: ფრაგმენტი, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ შესაფერისი ნიმუშის სისქისთვის: 0.5-6 მმ, და შეუძლია მხარი დაუჭიროს 20 მმ ნიმუშის ნაჭრებს უმეტესად (პერსონალურად);
10. ექსპოზიციის რეჟიმი: დრო (Countdown რეჟიმი);
11. განათების არაორდინურობა: ＜ 2.5%;
12. ორმაგი ველი CCD გასწორების მიკროსკოპი: მასშტაბის ობიექტივი (1-5 ჯერ) + მიკროსკოპის ობიექტური ობიექტივი;
13. ნიმუშთან შედარებით ნიღბის მოძრაობის დარტყმა მინიმუმ უნდა შეხვდეს: X: 5 მმ; Y: 5 მმ; : 6º ；
14. ★ ექსპოზიციის ენერგიის სიმკვრივე:> 30 მვტ / სმ 2,
15. ★ გასწორების პოზიცია და ექსპოზიციის პოზიცია მუშაობს ორ სადგურზე, ხოლო ორი სადგურის სერვო საავტომობილო კონცენტრატორები ავტომატურად;
16. კონტაქტის წნევის გაათანაბრა უზრუნველყოფს განმეორებადობას სენსორის მეშვეობით;
17. ★ გასწორების უფსკრული და ექსპოზიციის უფსკრული შეიძლება ციფრული იყოს დაყენებული;
18. ★ მას აქვს ნანოს ანაბეჭდი ინტერფეისი და სიახლოვის ინტერფეისი;
19. ★ სენსორული ეკრანის ოპერაცია;
20. საერთო განზომილება: დაახლოებით 1400 მმ (სიგრძე) 900 მმ (სიგანე) 1500 მმ (სიმაღლე).